| 型號 | JL-RR60 | ||
| 適用晶圓片尺寸 | 8Inch 12inch | ||
| 等離子源系統(tǒng) | 等離子發(fā)生器 | 射頻頻率：13.56MHZ;功率600W可調(diào) | |
| 真空系統(tǒng) |
真空腔體 | 材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 400mm(寬）X400mm（深）X400mm（高） | ||
| 極板 | 7層，水平式，活動可調(diào)節(jié) | ||
| 物料托盤層數(shù) | 6層 | ||
| 腔體容積 | 60L | ||
| 泵 | 真空泵 | 鮑斯 | |
| 皮拉尼式真空計 | 正華 | ||
| 質(zhì)量流量計 | SEVENSTAR | ||
| 氣路控制 | 標(biāo)配2路（可定制），氣體流量可調(diào)，適用Ar、N?、CF?、O?、H? | ||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | ||
| 電控系統(tǒng) | 人機工控系統(tǒng) | 自動+手動觸控式全中文界面 | |
| PLC+觸摸屏 | 顧美一體機 | ||
| 開關(guān)電源 | 臺灣明偉 | ||
| 變頻控制系統(tǒng) | 根據(jù)實際情況自動調(diào)節(jié)真空泵抽速，實時確保真空度穩(wěn)定 | ||
| 軟件程序 | 自主專利設(shè)計等離子控制系統(tǒng)，三級權(quán)限設(shè)置自動、手動模式 配方參數(shù)設(shè)定、存儲、調(diào)用，報警歷史查詢，IO監(jiān)控 |
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| 報警功能 | 真空度、輝光、功率、氣壓等實時監(jiān)控報警 （三色燈蜂鳴器報警+顯示屏提示） |
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| 進(jìn)氣系統(tǒng) | 氣體控制系統(tǒng) | 日本SMC電磁閥 | |
| 氣壓監(jiān)測系統(tǒng) | 日本SMC減壓閥、壓力報警表 | ||
| 進(jìn)氣管路組件 | Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 | ||
| 泄壓系統(tǒng) | 破真空組件 | 擋板閥+節(jié)流閥+消音器 | |
| 整機參數(shù) | 外形尺寸（MM) | 900(寬）*900(深）*1750(高） | |
| 重量 | 500kg | ||
| 額定總功率 | 2KW | ||
