| 型號 | JL-VMB05 | |||
| 等離子源系統(tǒng) | 等離子發(fā)生器 | 中頻頻率：40KHZ;功率600W可調 | ||
| 真空系統(tǒng) |
真空腔體 | 材質 | 316L不銹鋼 | |
| 腔體內部尺寸 | Φ157 mm * Dept.270mm（直徑*深) | |||
| 腔體容積 | 5L | |||
| 泵 | 真空泵 | 愛特 | ||
| 選配 | 真空表：亞德客 | 浮子流量計：瞳牧 | ||
| 真空計：正華 | 質量流量計：SEVENSTAR | |||
| 氣路控制 | 標配2路（可定制），氣體流量可調，適用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂ | |||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | |||
| 電控系統(tǒng) | 人機工控系統(tǒng) | 自動+手動觸控式全中文界面 | ||
| PLC+觸摸屏 | 顧美一體機 | |||
| 開關電源 | 臺灣明偉 | |||
| 變頻控制系統(tǒng) | 根據實際情況自動調節(jié)真空泵抽速，實時確保真空度穩(wěn)定 | |||
| 軟件程序 | 自主專利設計等離子控制系統(tǒng)，三級權限設置自動、手動模式 配方參數(shù)設定、存儲、調用，報警歷史查詢，IO監(jiān)控 |
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| 報警功能 | 真空度、輝光、功率、氣壓等實時監(jiān)控報警 （蜂鳴器報警+顯示屏提示） |
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| 進氣系統(tǒng) | 氣體控制系統(tǒng) | 日本SMC電磁閥 | ||
| 氣壓監(jiān)測系統(tǒng) | 日本SMC減壓閥、壓力報警表 | |||
| 進氣管路組件 | Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 | |||
| 泄壓系統(tǒng) | 破真空組件 | 擋板閥+節(jié)流閥+消音器 | ||
| 整機參數(shù) | 外形尺寸（MM) | 650*480*420mm（寬*深*高） | ||
| 重量 | 55kg | |||
| 額定總功率 | 1.5KW | |||
